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SemiEng20230413-What Designers Need To Know About GAA

2023-05-12 09:12:19 其他

  • Nanowire與nanosheet爭議仍然存在,業界還沒確定誰更適合作下一代主流邏輯器件,

  • 對任何新器件,第一代都是用來學習試驗的,后面再迭代升級,

  • FinFET不能繼續縮微的原因:fin之間要填柵和功函式堆疊層,fin之間15-20nm的距離是必要的,“So, you have this cliff.”

  • 工藝(Foundry)會限制納米片寬度的設計,因為不同尺寸需要不同的PDK,但開發模型費時又費勁,
    nanosheet可以做的很薄,但寬度的靈活性卻有現實的trade-off,

  • 工藝角(process corner)

  • 工藝波動對工藝角的影響
    兩種性能方案:A:低均值,小方差;B:高均值,大方差,GAA設計可能更傾向于前者,相對而言工藝角比均值更重要,

  • Nanowire增強了柵控,但驅動電流退化,
    所以增強電流的技術在先進節點依然是必要的,

  • SRAM要求的典型nanosheet厚度5nm,寬度20-30nm,很難再寬,

  • GAA的另一個大問題:寄生引數,
    由幾何形狀造成,也許可以在幾何上做優化,

  • Nanosheet層數
    PPAC性能要求限制,性能、成本都與之高度掛鉤,5層應該沒法作業,源漏電阻太大,
    源漏電阻隨層數增大是輕摻原因?
    同一塊wafer應該保持相同層數,高性能設備-4層, 移動設備-3層,

  • GAA的產業壽命可能和FinFET差不多,用個十年左右可能又會有新結構,
    GAA之后現在能看到的新結構有CFET和二維,

  • Synopsys邏輯技術路線圖

  • 再縮微可能互連線的瓶頸更突出,
    更下一代技術可能確實不是器件結構的更新,而是互連的變革,光互連現在呼聲最高,


原文
https://semiengineering.com/what-designers-need-to-know-about-gaa/

轉載請註明出處,本文鏈接:https://www.uj5u.com/qita/552244.html

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