一 什么是SECS
SECS（SEMI Equipment Communication Standard），半導體設備通訊標準，
此標準由SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International 國際半導體設備與材料產業協會) 制定，用來統一各個生產設備之間以及生產設備和控制設備之間的通訊，
SECS標準包括SECS-I、SECS-II、HSMS 和 GEM 四個標準，
1.1 SECS-I （SEMI Equipment Communications Standard 1 Message Transfer）
SECS-I：屬于傳輸協議標準，描述資料是如何通過物理層在設備與主機之間進行傳輸的，通過 RS-232通信來傳送SECS-II 資料的規范，1.2 SECS-II （SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content）
SECS-II：屬于訊息格式標準，定義了在設備與主機之間進行雙向會話時所使用的訊息格式，
1.3 HSMS （HIGH-SPEED SECS Message Services (HSMS) Generic Serives）
HSMS：屬于傳輸協議標準，描述資料是如何通過物理層在設備與主機之間進行傳輸的，使用的傳輸媒質是以太網，通過以太網來傳送SECS-II 資料的規范，
1.4 GEM （Generic Model For Communications And Control Of Manufacturing Equipment）
屬于設備功能標準，定義了通過通信鏈路所能看到的設備介面，指定了根據特定的訊息設備所應該采取的對應的行為，
二 SECS的總體結構
SECS-I 和 HSMS 處于模型的底層，為半導體設備通信鏈路層標準，SECS-I 是基于RS-232的協議，HSMS為基于TCP/IP的協議，
SECS-II協議封裝了 SECS-I 和 HSMS，在它們的基礎上定義了半導體設備的通信格式，
GEM則在SECS-II的基礎上定義了半導體生產制造程序中的互動行為，
三 SECS-I 通訊標準
SECS-I屬于傳輸協議標準，主要定義了電氣規格、傳輸速度、交握碼等物理資訊，
3.1 物理傳輸單位 bit
SECS-I 定義了使用 RS-232 作為傳輸媒質時點到點的資料通信，實際的傳輸由8位Bit連續發送，有一個開始位和一個停止位，
通信是雙向和異步的，但是同一時間只能有一個方向的資料進行傳輸，方向由特殊字符和握手建立，然后發送資料本身，
3.2 邏輯傳輸單位 Block
資料被分塊進行傳輸，每個資料塊最大為 254 位元組，一個訊息是一個方向的完整通信單元，由1到32,767個塊組成，每個塊標頭都包含用于標識該塊作為特定訊息的一部分的資訊，
3.3 Block的組成
一個Block包括一個Length Byte、N Data Bytes 和 CheckSum，
- LengthByte：表示隨后有多少個位元組的資料（即 N bytes），不包括最后 2個位元組的校驗和；
- CheckSum：計算N Data Bytes的校驗和；
- N Data Bytes：Block中的資料，長度范圍是 10 至 254 位元組，它由十個位元組的頭和訊息資料組成，
Data Bytes 由 10 byte Header 和 Message Data 組成：
- MessageData：表示Data Bytes中的資料部分，由編碼后的 SECS-II 訊息構成；
- 10 byte Header：描述Data Bytes中的資料內容，
10 byte Header 由10個位元組4個內容組成，其中：
- Device ID：Header的第一和第二位元組，其第一個位元為 R-bit，其作用是指出訊息傳輸的方向，
- Message ID：Header的第三和第四位元組，其第一個位元為 Wait-bit，用于指示訊息的發送者是否需要回復，
- Block No.：Header的第五和第六位元組，其第一個位元為 End-bit，用于指示這個是否是訊息的最后一個塊，
- System Bytes：Header的最后四個位元組，第七和第八位元組表示 source ID，用于表示訊息的發送者，第九和第十位元組表示 transaction ID，用于唯一標示每個發送的訊息，
3.4 Block的傳輸
塊的傳輸程序，先傳輸塊的長度，再傳輸塊，最后發送校驗碼，
標準建議每次可傳輸的Date Bytes位元組最多為254，如果一個訊息的大小<245個位元組，則以一個塊的形式進行傳輸，如果一個訊息的大小> 245個位元組，則以分塊的形式進行傳輸，
3.5 Block傳輸協議
通過串行線用于建立通信方向并為傳遞訊息塊提供環境的程序稱為塊傳輸協議，
協議使用單個位元組進行握手，標準定義了四個握手編碼，
標準還定義了兩個超時引數T1和T2，用于檢測通信故障，
- 超時引數T1：限制了在接收到BlockLengh位元組后和接收CheckSum位元組之前，接收資料塊時每個字符之間的時間間隔，
- 超時引數T2：限制了發送ENQ和接收EOT之間的時間，
說明：
以上為SECS通信基礎知識的整理-1，
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