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Nanowire與nanosheet爭議仍然存在,業界還沒確定誰更適合作下一代主流邏輯器件,
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對任何新器件,第一代都是用來學習試驗的,后面再迭代升級,
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FinFET不能繼續縮微的原因:fin之間要填柵和功函式堆疊層,fin之間15-20nm的距離是必要的,“So, you have this cliff.”
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工藝(Foundry)會限制納米片寬度的設計,因為不同尺寸需要不同的PDK,但開發模型費時又費勁,
nanosheet可以做的很薄,但寬度的靈活性卻有現實的trade-off, -
工藝角(process corner)

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工藝波動對工藝角的影響
兩種性能方案:A:低均值,小方差;B:高均值,大方差,GAA設計可能更傾向于前者,相對而言工藝角比均值更重要,

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Nanowire增強了柵控,但驅動電流退化,
所以增強電流的技術在先進節點依然是必要的, -
SRAM要求的典型nanosheet厚度5nm,寬度20-30nm,很難再寬,
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GAA的另一個大問題:寄生引數,
由幾何形狀造成,也許可以在幾何上做優化, -
Nanosheet層數
PPAC性能要求限制,性能、成本都與之高度掛鉤,5層應該沒法作業,源漏電阻太大,
源漏電阻隨層數增大是輕摻原因?
同一塊wafer應該保持相同層數,高性能設備-4層, 移動設備-3層, -
GAA的產業壽命可能和FinFET差不多,用個十年左右可能又會有新結構,
GAA之后現在能看到的新結構有CFET和二維, -
Synopsys邏輯技術路線圖

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再縮微可能互連線的瓶頸更突出,
更下一代技術可能確實不是器件結構的更新,而是互連的變革,光互連現在呼聲最高,
原文
https://semiengineering.com/what-designers-need-to-know-about-gaa/
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